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クリーンルーム川崎NS511

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クリーンルーム用に設計されたNSシリーズロボットNS511(フリップ付きシーリングマウント)RTZ移動が可能で、オプションの長さのリニア軸があり、追加のFOUP範囲に対応します。 300mmウェーハの取り扱いにおいて高い性能を発揮します。ソフトウェアとハ​​ードウェアには衝突検出機能が搭載されており、SEMI F47電圧免責基準とSEMI S2環境、安全衛生基準に準拠しています。

コントローラーD
Dコントローラは、完全なデジタルサーボプロセス、標準的なイーサネット通信ポート、コンパクトなフットプリント、さまざまなソフトウェアの柔軟な開発、2本のアームと多軸制御の独立した動作、全軸用の均一なサーボアンプ、標準環境、安全衛生SEMI S2、ホワイトルームISO 1。
D60コントローラの仕様
  • サーボ完全デジタルシステム
  • 制御軸:最大7軸
  • 手動、半自動、全自動ティーチング。
  • 外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
  • ハードウェア:RS232C x 1イーサネット。
  • ソフトウェア:K-Utility(クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド)。
  • エネルギー:電圧:単相、AC208V±10%、50 / 60Hz。標準:SEMI F47。
  • 入力信号:最大16チャンネル。
  • 出力信号:最大8チャンネル
  • 対応ロボットシリーズ:NS、NT、NX、TT、TX、NV
D61コントローラの仕様
  • サーボ完全デジタルシステム
  • 制御軸:最大12軸
  • 手動、半自動、全自動ティーチング。
  • 外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
  • ハードウェア:RS232C x 2イーサネット。
  • ソフトウェア:K-Utility(クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド)。
  • エネルギー:電圧:単相、AC208V±10%、50 / 60Hz。標準:SEMI F47。
  • 入力信号:最大96チャンネル
  • 出力信号:最大80チャンネル
  • 対応ロボットシリーズ:NS、NT、NX、TT、TX、NV
主な仕様
 
軸数:4
ISOクラス5
繰り返し精度:±0.1 mm(ウェハ中心)
コントローラ:D60 / D61
 
動作範囲(°)
 
Y軸(旅行JT1): -
θ軸(回転JT2):473°
Z軸(上下JT3):440 mm
X軸(上下JT4):816.5mm
F軸(回転JT5):200°
 
ロボットアプリケーション
 
クリーンルーム

アプリケーション

部品の取り扱い , 部品の組み立て

写真

設計図