川崎 Kawasaki cleanroom NT520

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詳細
仕様

クリーンルーム用に設計されたNTシリーズロボットは最大4台までのFOUPに対応できます.NT520ダブルアームロボットは、アライナを使用して280ウェーハ（WPH）、アライナなしで400 WPHの標準性能を提供します。ソフトウェアとハードウェアには衝突検出機能が搭載されており、SEMI F47電圧サグ免除基準とSEMI S2環境、安全衛生基準に準拠しています。

コントローラーD

Dコントローラは、完全なデジタルサーボプロセス、標準イーサネット通信ポート、コンパクトなフットプリント、さまざまなソフトウェアの柔軟な開発、2本のアームと多軸制御の独立した動作、すべての軸のための均一なサーボアンプ、標準的な環境、安全衛生SEMI S2、ISO 1ホワイトルーム。

D60コントローラの仕様

サーボ完全デジタルシステム
制御軸：最大7軸
手動、半自動、全自動ティーチング。
外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
ハードウェア：RS232C x 1イーサネット。
ソフトウェア：K-Utility（クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド）。
エネルギー：電圧：単相、AC208V±10％、50 / 60Hz。標準：SEMI F47。
入力信号：最大16チャンネル。
出力信号：最大8チャンネル
対応ロボットシリーズ：NS、NT、NX、TT、TX、NV

主な仕様

軸数：5
最大到達距離：1,280 mm
繰り返し精度：±0.1 mm（ウェハ中心）
コントローラ：D60 / D61

動作範囲（°）

θ1軸（回転JT2）：340°
Z軸（上下JT3）：470 mm
θ2軸（回転JT4）：340°
H1軸（回転JT6）：340°（380°）
H2軸（回転JT7）：380°

ロボットアプリケーション

クリーンルーム

アプリケーション

部品の取り扱い , 部品の組み立て

写真

設計図