川崎クリーンルームNX520

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2リンクのNX520は、FOUPからアライナーまで、そしてダブルアームマニピュレーターを使用してステージまで200時間の高性能スペース(WPH)で容易にウェーハステージに到達できる剛性のダブルアーム構造であり、 ISOクラス1の標準SEMI-F47システムで、電圧が回復したときの自動システムの電圧降下および再開、SEMI-S2環境保護、個人安全、反衝突システムの即時解決が可能です。

コントローラーD
Dコントローラは、完全なデジタルサーボプロセス、標準的なイーサネット通信ポート、コンパクトなフットプリント、さまざまなソフトウェアの柔軟な開発、2本のアームと多軸制御の独立した動作、全軸用の均一なサーボアンプ、標準環境、安全衛生SEMI S2、ホワイトルームISO 1。
D60コントローラの仕様
  • サーボ完全デジタルシステム
  • 制御軸:最大7軸
  • 手動、半自動、全自動ティーチング。
  • 外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
  • ハードウェア:RS232C x 1イーサネット。
  • ソフトウェア:K-Utility(クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド)。
  • エネルギー:電圧:単相、AC208V±10%、50 / 60Hz。標準:SEMI F47。
  • 入力信号:最大16チャンネル。
  • 出力信号:最大8チャンネル
  • 対応ロボットシリーズ:NS、NT、NX、TT、TX、NV
D61コントローラの仕様
  • サーボ完全デジタルシステム
  • 制御軸:最大12軸
  • 手動、半自動、全自動ティーチング。
  • 外部緊急停止、セキュリティ付近、外部停止。
  • ハードウェア:RS232C x 2イーサネット。
  • ソフトウェア:K-Utility(クリーンロボットのための元の川崎通信コマンド)。
  • エネルギー:電圧:単相、AC208V±10%、50 / 60Hz。標準:SEMI F47。
  • 入力信号:最大96チャンネル
  • 出力信号:最大80チャンネル
  • 対応ロボットシリーズ:NS、NT、NX、TT、TX、NV
主な仕様
 
軸数:5
ISOクラス1
リンク:2
繰り返し精度:±0.1 mm(ウェハ中心)
コントローラ:D60 / D61
 
動作範囲(°)
 
θ軸
(回転JT2)
330°
440 mm
Z軸
(アップダウンJT3)
832 mm
336°
X軸
(in / out JT4)
 
W軸 - 下
(回転JT6)
336°
W軸 - 上
(回転JT7)
 

ロボットアプリケーション

クリーンルーム

 


アプリケーション

部品の取り扱い , 部品の組み立て

写真

設計図